三甲基一氯矽烷對水源不會持續性危害的。這玩意在水裡很快就水解掉了，會産生鹽酸和六甲基二矽氧烷（MM)，MM對環境是沒有毒害的。
直接侵入的健康危害
侵入途徑：吸入、食入、經皮吸收。
健康危害：對呼吸道和眼睛、皮膚粘膜有強烈刺激作用。吸入後可引起咽喉、支氣管的痙攣、水腫，化學性肺炎、肺炎、肺水腫而緻死。接觸工人往往有眼痛、流淚、咳嗽、頭痛、惡心、嘔吐、喘息、易激動、皮膚發癢等。
毒理學資料及環境行為
危險特性：易燃，遇高熱、明火或與氧化劑接觸，有引起燃燒爆炸的危險。受熱或遇水分解放熱，放出有毒的腐蝕性煙氣。具有腐蝕性。
燃燒(分解)産物：一氧化碳、二氧化碳、氧化矽、氯化氫。
毒性
三甲基乙氯矽烷（三甲基一氯矽烷）是無色透明液體，有刺激臭味，在空氣中暴露，易和潮氣反應産生氯化氫。其危險特性是易燃、遇高熱、明火或與氧化劑接觸，有引起燃燒爆炸的危險，受熱或遇水分解放熱，放出有毒的腐蝕性煙氣。
洩漏應急處理
迅速撤離洩漏污染區人員至安全區，并進行隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護服。不要直接接觸洩漏物。盡可能切斷洩漏源，防止進入下水道、排烘溝等限制性空間。小量洩漏：用砂土、幹燥石類或蘇打灰混合。也可以用不燃性分散劑制面的乳液刷洗，洗液稀釋後放入廢水系統。大量洩漏：構築圍堤或挖坑收容。用泡沫覆蓋，降低蒸氣災害。用防爆泵轉移至槽車或專用收集器内，回收或運至廢物處理場所處置。
防護措施
呼吸系統防護：可能接觸其蒸氣時，應該佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩)。緊急事态搶救或撤離時，建議佩戴隔自給式呼吸器。
眼睛防護：戴化學安全防護眼鏡。
身體防護：穿防毒物滲透工作服。
手防護：戴橡膠手套。
其它：工作現場嚴禁吸煙。工作畢，淋浴更衣。注意個人清潔衛生。
急救措施
皮膚接觸：立即脫去被污染的衣着，用大量流動清水沖洗至少15分鐘。就醫。
眼睛接觸：立即提起眼睑，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。
吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。
食入：誤 服者用水漱口，給飲牛奶或蛋清。就醫。
滅火方法：噴水冷卻容器，可能的話将容器從火場移至空曠處。滅火劑：二氧化碳、幹粉、砂土。禁止用水或泡沫滅火。
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