ITO(Indium Tin Oxide)玻璃簡介

在普通玻璃的一個表面鍍上一層氧化铟錫的導電膜，就形成了LCD常用的氧化铟錫玻璃，通常簡稱為ITO玻璃。

PS:特點：不僅要求導電性能好，而且還要具有玻璃一樣高的透明度

ITO玻璃的基本結構

基闆:

常用的基闆厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm

基闆的主要生産廠家有：闆硝子、旭硝子、洛玻

根據材料的不同,通常分為鈉鈣玻璃和硼矽玻璃兩種;LCD行業中較常用的為鈉鈣型玻璃.

Si02層：

（1）Si02層的作用:主要是防止鈉鈣型基闆中的金屬離子擴散滲透到ITO層中,影響ITO層的導電能力.

（2）SiO2層的膜厚: 标準膜厚一般為20-30nm

ITO(Indium Tin Oxid)層:為氧化铟錫的透明導電層,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量約為10%。随着ITO層厚度的增加,ITO層的厚度逐漸減小.

-----應改為“随着ITO電阻值的增加,ITO層的厚度逐漸減小。”

三、ITO玻璃的分類

根據基闆玻璃表面狀态的不同，通常分為以下三種類型：

四、ITO玻璃的生産工藝流程

ITO玻璃的生産工藝流程主要分為以下三個步驟：

注：TN型玻璃不需要抛光。生産工藝流程更簡單。

ITO玻璃簡要生産工藝流程如下

五、ITO玻璃的評價參數

5.1透過率：

在波長為550nm的光波照射下，具有SI02阻檔層玻璃的透過率不小于80%，其主要取決于玻璃材料、ITO厚度和折射率。

透過率定義：透過玻璃的光通量T2與入射光通量T1之比的百分率

Tt=T2/T1X100%。

5.2方塊電阻:如圖

d為膜厚，I為電流，L1為膜厚在電流方向上的長度，L2為膜層在垂直電流方向的長度，ρ為導電膜的體電阻率。ρ和d可以認為是不變的定值，當L1=L2時，為正方形的膜層，無論方塊大小如何，其電阻率為定值ρ/ d，這就是方塊電阻的定義，即R□= ρ/ d

5.3平整度:

平整度可用h/1表示，意思為在長度為L的範圍内，表面最高點與最低點的差值為h。

ITO玻璃基闆平整度參數包括：

1、玻璃表面粗糙度；

2、基闆表面波紋度；

3、基闆翹曲度；

4、基闆垂直度；

5、ITO膜表面粗糙度；

6、ITO玻璃基闆、膜厚均勻度。

5.3.2基闆翹曲度:用h/L表示(如圖)

即翹曲的高度與翹起邊的長度之比

其中要求如下:

—— 厚度≥0.7mm的基片玻璃， 翹曲度（h/L）≤0.1%。

── 厚度≤0.55mm的基片玻璃，翹曲度（h/L）≤0.15%。

—— 不允許有S形翹曲

5.3.3基闆垂直度:用a/L表示(如圖)

用來描述玻璃基闆四條邊互相垂直的程度

5.4化學穩定性:

ITO鍍膜層的耐化學性能應符合表2中技術要求。

a) 耐堿性

鍍層在溫度為60±2℃, 濃度為10%的氫氧化鈉(分析純)溶液中浸泡5分鐘, ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。

b) 耐酸性

在25±2℃, 6%鹽酸(分析純)溶液中浸泡2分鐘, ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。

c) 耐溶劑性能

将鍍膜玻璃放入丙酮(分析純)、無水乙醇(分析純) 中浸泡5分鐘後，ITO膜的方電阻與浸泡前的方電阻相比不得超過110%。

5.5熱穩定性:

在空氣中經30分鐘300±5℃（觸摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高溫後，ITO膜的方阻的變化率小于300%

5.6附着力:

用3M膠帶粘在玻璃表面迅速撕開,ITO層無明顯開裂現象

六、ITO膜面的判定

相關定義:浮法方向:在基闆玻璃制造過程中,液态玻璃流動的方向.

ITO膜面主要判定方法:

(1)将萬用表打至歐姆檔,用探針分别測試兩個點,如果顯示不為”1”,則所測試面為ITO膜面;

(2)用方塊電阻測試儀測試面電阻,如果顯示電阻值無窮大,測所測面為非ITO膜面

(3)通過大角識别:以16×14英寸的玻璃為例

七、ITO玻璃使用常見問題

主要注意事項:

1、ITO玻璃連同包裝應存放在幹燥、陰涼、清潔的環境中，溫度28度以下，濕度不大于70%RH為宜；

2、ITO玻璃的貯存期不應超過半年，包裝打開後應盡快用完，如不能盡快用完，應重新密封；

3、拿取玻璃時應使用無塵手套，應用雙手“夾持”玻璃的兩邊，嚴禁裸手接觸玻璃表面；

4、嚴禁一支手拿兩片以上的玻璃

5、在拿取玻璃時應輕拿輕放，保持玻璃的垂直放置，嚴禁水平疊放；

6、嚴禁玻璃間的直接接觸

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