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高分辨率光譜共焦位移傳感器參數

圖文 更新时间:2024-11-30 09:32:22

高分辨率光譜共焦位移傳感器參數(光譜共焦位移傳感器原理)1

這裡隻計算光線波長,用以産生測量信号。反射光産生的信号波峰振幅并不在信号測量依據之内。也就是說反射光的光強不會影響測量結果。這意味着,無論有多少反射光從被測物體反射回來,測量的距離結果可能是不變的。因為反射光的光強僅僅取決于反射物體的反光程度。因此,光譜共焦傳感器,即使被測物體是強吸光材料,如黑色橡膠;或者是透明材料,如玻璃或者液體,都可以進行正常可靠的測量。

與激光三角反射式位移傳感器相比,采用光譜共焦式位移傳感器測量曲面玻璃的優勢:

1)由于光譜共焦傳感器采用分析光譜成分對應距離變化的原理,相比激光三角反射式傳感器通過反射光斑在CCD上的位置換算距離變化的原理,光譜共焦傳感器測量結果更加穩定,分辨率和線性度更好。實際的測量項目中,采用光譜共焦位移傳感器後,整個測量機台的重複性甚至可達亞微米級别。

2)對于曲面玻璃邊沿較大角度的位置,光譜共焦位移傳感器可以獲得更大可測量區域。

3)激光三角反射式傳感器更加适合測量漫反射被測物。而對于鏡面反射的曲面玻璃,同軸測量原理的光譜共焦位移傳感器更加适用。

4)光譜共焦位移傳感器的測量光斑更小,測量頻率更高,适合快速捕捉微小結構的位置變化。

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