“百人計劃”研究員、博士生導師楊樹。供圖

11月3日，2022達摩院青橙獎舉行頒獎典禮。段樹民、李駿、龔新高、孫凝晖、阮勇斌五位院士應邀到場，為15位“青橙學者”頒獎。

新京報貝殼财經記者當日采訪了“百人計劃”研究員、博士生導師楊樹。她因研制出高性能新型垂直氮化镓功率器件，攻克了困擾氮化镓器件的動态性能退化難題而獲得此次青橙獎。

推薦人評價稱，楊樹的工作針對我國高性能電能裝備的戰略需求，力求解決我國電力電子核心芯片的卡脖子技術問題，對研發具有我國自主知識産權的高性能功率半導體核心芯片具有重要戰略意義。

攻克“卡脖子”技術沒有捷徑 需要長時間投入

楊樹的研究方向是寬禁帶半導體氮化镓（GaN）功率器件。她對新京報貝殼财經記者表示，功率半導體器件作為電力電子技術的核心，目前管理着全球超過80%的電能資源，在電能“發、輸、變、配、用”各個環節都發揮着重要作用，功率半導體器件好比電力電子或者電能轉換中的“心髒”。

對于所在領域面臨的“卡脖子”問題，楊樹認為寬禁帶半導體功率器件從材料、到關鍵制造工藝、表征量化、封裝、可靠性研究等環節，要攻克這些環節的關鍵技術“沒有什麼捷徑，就是需要長時間的積累和叠代優化，需要學術界和産業界共同努力和多年投入。”

“氮化镓很特殊，它不僅用在功率電子領域，就像獲得諾貝爾物理學獎的高效藍光LED和其他光電子領域，也會用到氮化镓。氮化镓射頻器件還是通信基站中的關鍵技術支撐。所以氮化镓功率電子器件并不是從零開始，它前期已經有了兩個浪潮，就是光電子和射頻電子領域對于材料、工藝等關鍵共性技術的積累。”楊樹說。

在她看來，功率器件裡最關鍵的微納制造工藝也是沒有捷徑的。“對工藝流程的設計、單步關鍵工藝的探索和開發，包括最終的工藝整合，做出來我們設計的目标器件，需要經曆包括光刻、刻蝕、離子注入、金屬化、介質沉積、晶圓級測試、切片、封裝等等非常複雜的過程，我們還需要研究内部的關鍵機理，包括性能和可靠性為什麼好或者不好、器件結構設計和工藝對它們有什麼影響規律，從而最終通過結構與工藝優化實現高性能、高可靠性的功率器件。這些都是環環相扣的。”

楊樹告訴貝殼财經記者，功率器件關鍵技術需要多年的研究，也需要和産業界的合作，“我們也一直在和産業界合作，通過我們對器件技術及機制的理解，幫助他們解決新器件應用中遇到的關鍵問題和挑戰，充分發揮出氮化镓的性能優勢，推動氮化镓今後在大數據中心、激光雷達、新能源汽車車載電源、通信等領域的應用。”

關注女性科研工作者 女性應承擔更大責任

此外，作為此次青橙獎獲獎者中為數不多的女性，楊樹對貝殼财經記者表示，她非常希望為關注女性科研工作者的公益事業盡一份力。

“在我成長和求學的過程中，家人從來沒有覺得女孩子就應該如何，或者是不适合去做什麼。讀書時，我的導師也是這樣對待我們。我讀博士的時候，工作量比周圍的男同學還要大一些，也有機會去參與很重要的研究課題。我覺得父母和師長對我這種無性别差異的對待和培養，一直激勵着我在科研道路上前行。”她說。

據了解，楊樹是中國電源學會女科學家工作委員會的一員，“我們會關注女性科研工作者的成長和發展，尤其是面臨的困境。這個數字講出來會讓人比較感慨，在大學裡，本科生、研究生男女比例差不多是1:1。但是到了工作崗位上，工程師或者是青年女教師的比例就會下降到40%左右，如果是高層次的首席科學家，就會下降到4%，幾乎在工作後的每一個階段可能女性都會遇到上升的阻力或是放棄了。”

楊樹表示，這幾年國家有關部委出台了一些文件和政策，鼓勵女性科研工作者承擔重要的科研任務，國家也很看重發揮女性的領導力，“其實女性也有很多優勢，比如說更敏感、更細緻，會提供不一樣的視角，會注重溝通和團隊協作，會更有韌性等。如果大家都勇于追求夢想，或者被給予相對公平的機會，我覺得女性也可以有一片廣闊的天地。我覺得社會越進步，女性的價值更應該被‘看見’、被尊重，女性應該承擔的責任要更大。”

新京報貝殼财經記者 羅亦丹 編輯 王進雨 校對 柳寶慶

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