摘要：真空泵是一種真空獲得設備，可利用物理、化學或者機械等方法對容器進行抽氣來獲得與改善真空環境。真空泵的類型衆多，在我國多個工業領域得到了應用，本文重點介紹真空泵的分類和幾種常見真空泵的性能、優缺點等，分析我國真空泵産品的發展趨勢。

17世紀，意大利物理學家托裡拆利揭示了“真空”的存在。真空是指在給定空間内，氣體壓強低于一個大氣壓的氣體狀态，完全沒有任何氣體的狀态叫絕對真空，一般我們所說的真空是指相對真空，即能達到的最低壓強下，每立方米氣體中仍然有少數氣體分子存在。

在真空技術中，一般用“真空度”和“壓強”來表示真空程度，某空間的壓強越低則說明真空度越高，壓強越高表示真空度越低。根據各壓強範圍内不同的物理特點，把真空一般劃分為粗真空、低真空、高真空和超高真空幾個區域。

表1 真空區域的劃分

(資料來源：公開資料整理)

20世紀初以後真空技術不斷發展，真空設備種類越來越多，應用領域也逐漸擴大。按照真空泵的工作原理，可以将其分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種基本類型。氣體傳輸泵主要是通過不斷的吸入和排除氣體達到抽氣目的，氣體捕集泵通過使氣體分子被吸附或者凝結在泵的内表面上，從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的。

表2 真空泵的分類

(資料來源：公開資料整理)

水環式真空泵是一種變容積泵，可以抽除易燃、易爆及腐蝕性氣體，還可以抽除含有灰塵和水分的氣體。該種真空泵具有結構簡單、易維修、磨損小、安全性高、不會污染被輸送氣體等優點，缺點是效率不高，且獲得真空度不高(粗真空)。水環泵的主要原料為鑄件，容易加工，屬于勞動密集型産品，因此國産産品相比進口泵有價格優勢，目前應用範圍較廣。目前國産液環泵生産企業應主要在減輕重量、縮小體積、降低能耗和提高效率等方面對産品進行改進。

旋片真空泵是最基本的真空獲得設備之一，它是一種油封式機械真空泵，适用于密閉系統的氣體抽取，如真空包裝、真空成形、真空吸引等，但是不可用于抽除含氧量高、對金屬有腐蝕性、可與泵油起化學反應、含有顆粒塵埃的氣體，也不能抽除水或其他液體。旋片泵具有體積小、重量小、噪音低等優點，能夠獲得較高的真空度。國産旋片泵在技術上已經達标，且價格遠低于進口泵，具有一定競争優勢。旋片泵目前待解決問題主要是旋片材料、軸封漏油等，還有能夠抽除水蒸氣的旋片泵的研制。

滑閥真空泵屬于一種油封式變容真空泵，可以用來抽取一般性氣體或者含有少量氣凝性氣體，相比旋片泵，具有可以在高壓強下工作(104Pa)、抽氣量大、可以在較惡劣的工況下使用和經久耐用等優點，主要應用在真空冶煉、真空幹燥、真空浸漬、真空蒸餾等方面。滑閥泵的鑄件重，加工工作量大，因此很多國外生産企業希望與國産真空泵企業合作，為了加快替代進口，國産滑閥泵需要在降低振動噪聲、防止噴油和漏油方面進行産品的優化。

羅茨真空泵具有啟動快、功耗小、抽速大等優點，能夠抽除含有水蒸氣和灰塵的氣體，能敏捷抽除忽然放出的氣體，使用羅茨泵可以減少抽氣時間，提升生産效率。目前國産羅茨泵與進口産品相比市場份額較小，為了達到搶占國内市場以及進入國際市場的目的，國産企業需在降低振動噪聲、解決軸封漏油、提升泵内的光潔度和清潔度方面對國産産品進行改進。

幹式螺杆真空泵，是一種相對較新的真空獲得設備，具有可靠性高、使用壽命長、動力平衡性能好、适應強、能夠多相混合輸送等特點，可以抽除有腐蝕性的、有毒、含有粉塵的氣體以及可凝性蒸汽等多種氣體。幹泵的應用範圍非常廣泛，代表行業包括半導體行業、化工行業、薄膜工業等，來自這三個行業的需求是幹泵市場的主要驅動力。歐美的半導體行業中，大約有一半左右企業使用幹式真空泵代替油封式機械泵。而目前國産幹式真空泵的應用較少，市場份額不到1%，我國的半導體行業以使用進口幹式泵為主，因此應加大對國産幹式泵的研發力度，讓幹式真空泵成為我國真空行業的新的經濟增長點。

真空泵經過長時間的發展，種類和應用領域較多，每種真空泵具有不同的優特點和性能，使用企業需根據各自的使用工況、真空度要求等方面因素考慮如何選取真空泵。目前我國真空行業應重視對國産真空泵的産品升級，搶占更多國内市場并進入國際市場。

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