本人從事半導體三年有餘，一年5寸，一年6寸，一年12寸，目前在國内頂尖的fab内擔任設備工程師，現在疫情居家中，閑來無事給大家整理一下，如有業内人士看到，如有不對之處，請指正。感謝。

工藝相關 ：

12 inches or 8 inches 晶圓直徑大小，分别對應是300mm和200mm，更早期有4寸，5寸

wafer 晶圓

die 單指一顆芯片

pvd 物理氣相沉積

cvd 化學氣相沉積

wet 濕法刻蝕

etch 幹法刻蝕

lithography ，litho，photo都指光刻

cmp 化學機械研磨

diffusion 爐管

implant 離子植入

slurry 研磨液

photoresist 光刻膠或者光阻

chemical 化學材料

DIW 去離子水也叫純水

PCW 廠務水

CDA 壓縮空氣

PN2 制程氮氣

GN2 普通氮氣

gas 化學反應氣體，比如etch或者cvd所用的氣體

target 靶材，一般是pvd會用到

設備相關：

compressor 壓縮機

chiller 冷卻器

tank 施法刻蝕的反應容器

cable 線纜，一般為銅，接通電源所用

ESC 靜電卡盤

lifter pin 升降針

O ring 密封圈

generator 電源

MFC 氣體質量流量計

gauge 測量儀器，一般用來監控反應腔體壓力

tool 工藝機台

chamber 工藝腔體

ARM or robot 用來取晶圓的機械手臂

foup（12吋） or cassette （8吋） 盛放晶圓的器具

PM prevention maintaince 預防性保養，針對機台或者腔體

P Monitor， particle monitor，缺陷監控

通用類型：

daily ，每天

weekly， 每周

monthly，每月

case 問題，一般設備工程師處理了一個設備故障，面試的時候面試官會問說出你之前印象深刻的case，就是這個意思。

due day ，類似于deadline，某個任務的截止日期，在這個日期前要完成。

passdwon 交接，fab生産是24小時不停的，所以有些部門會有白班夜班，白夜班的交接就叫passdown，當然不限于此，比如A負責一個項目，最近有事需要請假一周，領導安排B這一周負責，那A就要和B交接好，這個也叫passdown

backup，中文叫備胎？上面的B就可以叫做A的backup，當A有事的時候，B可以繼續負責A的工作，保證工作不會因為A的請假離開而中斷

onduty 值班，因為周末生産不停，所以周末也會安排值班，就叫做onduty

trend chart，趨勢線/圖，半導體中有很多監控參數，每一個參數都會按照一定的頻率進行監控，這個參數随時間的變化趨勢就叫做trend chart

spec ，規格，每一個參數的trend chart 都會有一個規格來限定，确保這個參數是穩定安全的，那這個規格就叫spec，有些參數隻有最小規格限制，有些隻有最大規格限制，有些是最大最小規格限制都有

co—work 合作，半導體中任何一個項目的成功都是很多團隊共同合作達到的

Ack. 這個一般放在報告ppt中，後面跟着人名，一般是你的報告中的某些數據或者圖表如果來這于公司其他團隊的同事或者自己團隊的同事，那要注明來源及感謝，用這個形式就可以

issue，問題

AR ，action request，中文我也不知道怎麼翻譯（看評論區有沒有翻譯出來的），解釋起來就是針對某個問題（issue），目前沒有解決，那就需要做調查，需要你做調查就叫做AR

Check，檢查，半導體fab，兩個人相互合作，如果A同事需要另外B同事幫忙查一下某個數據，那B同事一般會說：我check一下然後告訴你，其實也就是查一下，但一般習慣于說check。

double confirm ，double check，再次确認某些數據比較重要，可能需要重複确認是否數據有誤，這個一般叫做double confirm或者double check

Outlook，微軟的辦公軟件郵箱

calendar ，日曆，一般是不同部門之間需要進行一個會議讨論某些問題，然後會議發起人在Outlook上預訂會議，發送給需要參加會議的人，那收到邀請的人就會在自己的日曆上看到會議的信息，這個就叫calendar

schedule， on schedule 就叫做如期，schedule delay就叫做延期，一般用來指某個項目的進度狀态

linedown ，停線，在半導體fab 而言，停線的意思是停止生産，這是很嚴重的，需要所有相關人員全力找出原因，快速恢複生産

priority 優先級，一般fab工作，每個人手上都不會僅僅一件事，那優先級的意思就是你需要先做最緊急的事情

CIP continue improve plan，持續改善計劃，針對某個問題，很多解決方案都不是最完美的，或者并不能一次解決掉，那對于這樣的問題，一般的做法是一步一步改善，這個就叫CIP，直到問題完全解決或者到可以接受的程度

sense，這個大家悟吧，做半導體就是要有sense，有一些人做了很久也沒有sense。

更多精彩资讯请关注tft每日頭條，我们将持续为您更新最新资讯!