白光幹涉儀使用步驟-tft每日頭條

白光幹涉儀使用步驟

生活更新时间:2025-05-12 12:39:01

白光幹涉儀是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重複性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級别的超高精度加工領域，除了白光幹涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。
白光幹涉儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。

白光幹涉儀使用步驟（一文解析白光幹涉儀原理及構造）1

白光幹涉儀外觀

照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分别投射到樣品表面和參考鏡表面。從這兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡後合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互幹涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，所以根據白光幹涉條紋明暗度就可以解析出被測樣品的相對高度。

白光幹涉儀使用步驟（一文解析白光幹涉儀原理及構造）2

成像系統及數據分析

白光幹涉儀由以下幾部分構成：光學照明系統，采用鹵素光源，其中心波長為576nm，光譜範圍從340nm到780nm。光學成像系統采用無限遠光學成像系統，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統由壓電陶瓷以及控制驅動器構成，采用閉環反饋控制方法，可精密驅動顯微物鏡上下移動，移動範圍100mm。位置移動精度為0.1nm。信号處理系統信号處理系統是該儀器的核心部分，由計算機和數字信号協處理器構成。利用計算機采集一系列原始圖像數據。然後使用專用的數字信号協處理器完成數據解析作業。應用軟件應用軟件主要由操作控制部分，結果顯示部分以及後處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結果。并可對測量結果作進一步的修正處理。

白光幹涉儀使用步驟（一文解析白光幹涉儀原理及構造）3

光滑面3D Profile

白光幹涉儀與台階儀相比具有以下優點：一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；二是測量速度快，不必像探頭逐點進行測量；三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精确的得到理想的測量結果。随着白光幹涉測量技術的發展和完善，白光幹涉測量儀器已經得到了廣泛的應用。在微電子、微機械、微光學等領域，白光幹涉測量儀器可以提供更高精度的檢測需求。

白光幹涉儀使用步驟（一文解析白光幹涉儀原理及構造）4

粗糙面3D Profile

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