掃描電鏡放大原理-tft每日頭條

掃描電鏡放大原理

職場更新时间:2024-11-20 14:25:07

Q：掃描電鏡（SEM）的工作原理是什麼？

電子作為最早發現的基本粒子，是電量最小的單元，電量為 1.602189 × 10-19 庫侖，質量為 9.10956 × 10-31 kg。自然界的原子都由一個帶正電的原子核以及圍繞它運動的若幹電子組成。

電子的發射源

在 SEM 中，燈絲作為電子的發射源十分關鍵，傳統的 W 燈絲以及飛納電鏡采用的 CeB6 燈絲都是通過熱激發方式激發電子。

熱激發是通過賦予電子更高的能量加熱，使得電子具有超出逸出功的能力，逸出功越高，需要的工作溫度也就越高。

W 燈絲的逸出功為 4.5 eV，CeB6 燈絲的逸出功為 2.6 eV。所以，W 燈絲的工作溫度在 2800K，而 CeB6 隻需要在 1800K，工作溫度的不同同樣會影響色差，W 燈絲色差為 2.5 eV，CeB6 色差僅為 1 eV。

燈絲電子發射原理決定了 CeB6 燈絲可以在更低的溫度下産生比 W 燈絲更高的電流，意味着更高的亮度，更低的色差和更長的壽命。

掃描電鏡放大原理（熟悉電子在電鏡中的的運動）1

電子在電場以及磁場中的運動

電子在磁場中會受到洛倫茲力的作用，從而改變運動的方向，在掃描電鏡中主要體現在物鏡（通電磁線圈産生的磁場會聚電子）以及掃描單元（通電磁線圈産生的磁場偏轉電子）。

掃描電鏡放大原理（熟悉電子在電鏡中的的運動）2

電子與樣品相互作用

當入射電子與樣品相互作用時，會激發出多種電子信号，包括背散射電子（BSE）、二次電子（SE）等。

背散射電子激發深度為 1-2μm，主要反映樣品的成分以及晶向等信息，而二次電子激發深度一般＜10 nm，主要表征樣品的表面形貌信息。

掃描電鏡放大原理（熟悉電子在電鏡中的的運動）3

二次電子圖像

掃描電鏡放大原理（熟悉電子在電鏡中的的運動）4

SED 成像，主要反映樣品的表面形貌，在邊緣等處信号量更高。

背散射電子

掃描電鏡放大原理（熟悉電子在電鏡中的的運動）5

BSD 成像，主要反映樣品的成分差異，原子序數較大的組分亮度更高。

Phenom 飛納采用逸出功更低的單晶 CeB6 燈絲，可以在低溫下使電子逸出，有效地降低色差，提升燈絲亮度，延長燈絲使用壽命，并通過電場以及磁場的控制實現電子的加速以及偏轉，提供優秀的 BSD 和 SED 圖像。

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