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晶圓切割誤差是什麼意思

圖文 更新时间:2024-11-25 03:44:37

1平行度。

如果主軸水平不符合要求,切割後的刀槽會變寬,邊緣會嚴重坍塌。例如,NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割矽晶圓,主軸轉速3萬r/min、劃切速度20mm/s時間。理想的刀痕為0.030~0.035mm,當主軸打标水平等于5時μm實測刀痕為0.045mm。

晶圓切割誤差是什麼意思(影響晶圓切割機劃切效果三大要素)1

2垂直度。

如果切割後工件的刀槽一側坍塌,裂紋嚴重,另一側正常,通常由于主軸垂直度不足,可根據坍塌邊緣确定主軸的仰角或俯角。

晶圓切割誤差是什麼意思(影響晶圓切割機劃切效果三大要素)2

3.主軸速度。

主軸速度匹配切割速度,影響切割效果的是主軸速度,理論上增加主軸速度,提高切割速度,确保固定線速度不影響切割效果,但不同速度範圍内的主軸振動不同,需要找到最佳組合點,在保證切割效果的前提下提高效率。注:選擇主軸速度時,注意工具允許的最大速度,如DISCO的PIA直徑50的系列刀具mm(2寸)刀盤時,最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盤時,最高速度<40000r/min。刀具在超過允許的最高速度時會自動解體。

晶圓切割誤差是什麼意思(影響晶圓切割機劃切效果三大要素)3

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