上次說到芯片生産的最初始材料——白崗岩,經過一系列工藝得到了純度高達99.9%的高純石英砂。高純石英砂生命的下一站便是多晶矽!
生産芯片的第二個重要環節
要想獲得多晶矽首先需要知道,多晶矽是個啥。既然有多晶矽,那肯定有單晶矽存在。那咱們先來看一下這一對兒“歡喜冤家”。
看人先相面!讓我們先看一下多晶矽和單晶矽分别長啥樣!
左為多晶矽,右為單晶矽
我們的肉眼凡胎能看到的多晶矽和單晶矽的樣子,其中可以看出比較明顯的特征,多晶矽看上去比較粗糙,單晶矽比較光滑油亮,其中單晶矽表面還有棱線存在。
借助高分辨率透射電鏡,我們可以更清晰地看清楚單晶矽和多晶矽的真實面貌:
左為多晶矽,右為單晶矽
其實不管是多晶矽還是單晶矽,他們的矽原子排列方式都是一樣的,都是以金剛石的晶格排列,從這個角度講,多晶矽和單晶矽本質上是一種東西,隻不過因為形成晶粒的方向性差異,而導緻物理特性的不同。
金剛石晶格
我們再來看看多晶矽和單晶矽表面放大了的樣貌:
左邊為多晶矽孔狀絨面,右圖為單晶矽金字塔狀絨面
長相我們了解得差不多了,我們是不是還需要再進一步了解一下多晶矽和單晶矽的”性格“,感覺像似在相親。
就兩者的物理性質而言。機械性能、光學性能和熱性能的各向異性方面,多晶矽比單晶矽更不明顯;電性能方面,多晶矽晶體的導電性遠低于單晶矽,甚至說很差。這就決定了多晶矽不能直接用來制作電子級芯片的重要原因。
好了,我們終于對多晶矽和單晶矽有了初步的認識。那麼高純石英砂是怎樣一步步變成多晶矽的呢?我們繼續進行揭秘。
下面的過程非常考驗我們的高中化學學得怎樣了,其實原理非常的簡單:
第一步:高純石英砂放入電弧爐中冶煉,提純生成98%純度的工業矽。
SiO2 C→Si CO2↑
第二步:為了滿足高純度的需要,必須進一步提純。将上一步得到的工業矽粉碎和無水HCl反應得到SiHCl3
Si HCl→SiHCl3 H2↑
第三步:上一步在反應冷凝的過程中會形成混合氣體,H2,HCl,SiHCl3,SiCl4,Si,這一步主要是将這些物體用精餾的方式分開,就跟釀酒類似,氣體SiHCl3得到淨化,形成高純SiHCl3.
第四步:高純SiHCl3在氫氣環境下與之反應,還原沉澱而形成多晶矽。
SiHCl3 H2→Si HCl
怎樣,還能看懂這些化學方程式嗎?雖然原理看上去比較簡單,但是工程上和技術上完成這一系列的工藝還是非常困難的。
多晶矽生産工藝
要生産高純度多晶矽,投資規模一般在幾十億元,較高的生産成本,決定了多晶矽的價格不菲,截止2021年4月25日多晶矽國内價格大約90000元/噸,國外進口價114000元/噸。
關于多晶矽,半導先生今天就絮叨到這裡,不知道你了解了多少呢?芯片制造的過程還有很長的路要走呢,如果你對半導體感興趣,記得關注我哦。
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