基于壓電效應（Piezoelectric effect），利用電氣元件和其他機械把待測的壓力轉換成為電量，再進行相關測量工作的測量精密儀器。壓電傳感器隻可以應用在動态測量當中。主要的壓電材料是：磷酸二氫胺、酒石酸鉀鈉和石英。随着技術的發展，壓電效應也已經在多晶體上得到應用了。例如：壓電陶瓷，铌鎂酸壓電陶瓷、铌酸鹽系壓電陶瓷和钛酸鋇壓電陶瓷等等都包括在内。

以壓電效應為工作原理的傳感器是機電轉換式和自發電式傳感器。它的敏感元件是用壓電材料制作而成的。當壓電材料受到外力作用時表面會形成電荷，電荷通過電荷放大器、測量電路的放大以及變換阻抗以後，就會被轉換成為與所受外力成正比關系的電量輸出。它用來測量力以及可以轉換成為力的非電物理量，例如：加速度和壓力。

優點是：重量較輕、工作可靠、結構簡單、信噪比高、靈敏度高以及信頻寬等。

缺點是：有部分電壓材料忌潮濕，因此需要采取一系列的防潮措施；而輸出電流響應又比較差，就要使用電荷放大器或者高輸入阻抗電路來彌補這個缺點。

2、壓阻壓力傳感器

壓阻效應是用來描述材料在受到機械式應力下所産生的電阻變化。不同于壓電效應，壓阻效應隻産生阻抗變化，并不會産生電荷。大多數金屬材料與半導體材料都被發現具有壓阻效應。由于矽是現今集成電路的主要材料，以矽制作而成的壓阻元件的應用就變得非常有意義。電阻變化不單是來自與應力有關的幾何形變，而且也來自材料本身與應力相關的電阻，這使得其程度因子大于金屬數百倍之多。

壓阻壓力傳感器一般通過引線接入惠斯登電橋中。平時敏感芯體沒有外加壓力作用，電橋處于平衡狀态（稱為零位），當傳感器受壓後芯片電阻發生變化，電橋将失去平衡。若給電橋加一個恒定電流或電壓電源，電橋将輸出與壓力對應的電壓信号，這樣傳感器的電阻變化通過電橋轉換成壓力信号輸出。電橋檢測出電阻值的變化，經過放大後，再經過電壓電流的轉換，變換成相應的電流信号，該電流信号通過非線性校正環路的補償，即産生了與輸入電壓成線性對應關系的4～20mA标準輸出信号。

為減小溫度變化對芯體電阻值的影響，提高測量精度，壓力傳感器都采用溫度補償措施使其零點漂移、靈敏度、線性度、穩定性等技術指标保持較高水平。

3、電容壓力傳感器

利用電容作為敏感元件，将被測壓力轉換成電容值改變的壓力傳感器。這種壓力傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信号。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。

單電容式壓力傳感器由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量，其靈敏度大緻與薄膜的面積和壓力成正比，而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀，膜片為周邊固定的張緊平面，膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。這種型式适于測量低壓，并有較高過載能力。還可以采用帶活塞動極膜片制成測量高壓的單電容式壓力傳感器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積，以便采用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起，以便提高抗幹擾能力。這種傳感器适于測量動态高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式（即話筒式）和聽診器式等型式。

差動電容式壓力傳感器的受壓膜片電極位于兩個固定電極之間，構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小，測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。過載時膜片受到凹面的保護而不緻破裂。差動電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好，但加工較困難（特别是難以保證對稱性），而且不能實現對被測氣體或液體的隔離，因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質的流體中。

4、電磁壓力傳感器

利用電磁原理的傳感器統稱為電磁壓力傳感器，主要包括電感壓力傳感器、霍爾壓力傳感器、電渦流壓力傳感等。

①電感壓力傳感器

電感式壓力傳感器的工作原理是由于磁性材料和磁導率不同，當壓力作用于膜片時，氣隙大小發生改變，氣隙的改變影響線圈電感的變化，處理電路可以把這個電感的變化轉化成相應的信号輸出，從而達到測量壓力的目的。該種壓力傳感器按磁路變化可以分為兩種：變磁阻和變磁導。電感式壓力傳感器的優點在于靈敏度高、測量範圍大；缺點就是不能應用于高頻動态環境。

變磁阻式壓力傳感器主要部件是鐵芯跟膜片。它們跟之間的氣隙形成了一個磁路。當有壓力作用時，氣隙大小改變，即磁阻發生了變化。如果在鐵芯線圈上加一定的電壓，電流會随着氣隙的變化而變化，從而測出壓力。

在磁通密度高的場合，鐵磁材料的導磁率不穩定，這種情況下可以采用變磁導式壓力傳感器測量。變磁導式壓力傳感器用一個可移動的磁性元件代替鐵芯，壓力的變化導緻磁性元件的移動，從而磁導率發生改變，由此得出壓力值。

②霍爾壓力傳感器

霍爾壓力傳感器是基于某些半導體材料的霍爾效應制成的。霍爾效應是指當固體導體放置在一個磁場内，且有電流通過時，導體内的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊，繼而産生電壓（霍爾電壓）的現象。電壓所引緻的電場力會平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性，可證實導體内部的電流是由帶有負電荷的粒子（自由電子）之運動所造成。

在導體上外加與電流方向垂直的磁場，會使得導線中的電子受到洛倫茲力而聚集，從而在電子聚集的方向上産生一個電場，此電場将會使後來的電子受到電力作用而平衡掉磁場造成的洛倫茲力，使得後來的電子能順利通過不會偏移，此稱為霍爾效應。而産生的内建電壓稱為霍爾電壓。

當磁場為一交變磁場時，霍爾電動勢也為同頻率的交變電動勢，建立霍爾電動勢的時間極短，故其響應頻率高。常用霍爾元件的材料大都是半導體，包括N型矽(Si)、銻化铟(InSb)、砷化铟InAs)、鍺(Ge)、砷化镓GaAs)及多層半導體質結構材料。

③電渦流壓力傳感器

基于電渦流效應，由一個移動的磁場與金屬導體相交，或是由移動的金屬導體與磁場垂直交會所産生。簡而言之，就是電磁感應造成的。這個動作産生了一個在導體内循環的電流。電渦流特性使電渦流檢測具有零頻率響應等特性，因此電渦流壓力傳感器可用于靜态力檢測。

5、振弦壓力傳感器

振弦壓力傳感器屬于頻率敏感型傳感器，這種頻率測量具有想當高的準确度，因為時間和頻率是能準确測量的物理量參數，而且頻率信号在傳輸過程中可以忽略電纜的電阻、電感、電容等因素的影響。同時，振弦式壓力傳感器還具有較強的抗幹擾能力，零點漂移小、溫度特性好、結構簡單、分辨率高、性能穩定，便于數據傳輸、處理和存儲，容易實現儀表數字化，所以振弦式壓力傳感器也可以作為傳感技術發展的方向之一。

振弦式壓力傳感器的敏感元件是拉緊的鋼弦，敏感元件的固有頻率與拉緊力大小有關。弦的長度是固定的，弦的振動頻率變化量可用來測算拉力的大小，即輸入的是力信号，輸出的是頻率信号。振弦式壓力傳感器分為上下兩個部分組成，下部構件主要是敏感元件組合體。上部構件是鋁殼，包含一個電子模塊和一個接線端子，分成兩個小室放置，這樣在接線時就不會影響電子模塊室的密封性。

振弦式壓力傳感器可以選擇電流輸出型和頻率輸出型。振弦式壓力傳感器在運作式，振弦以其諧振頻率不停振動，當測量的壓力發生變化時，頻率會産生變化，這種頻率信号經過轉換器轉換為4~20mA的電流信号。

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