電子元器件、集成電路、芯片等電子行業生産中,幾乎每道工序都需要用到純水進行清洗作業,工件與水直接接觸,一方面使加工過程中的微量玷污得到清洗,另一方面又需要避免純水中的微量雜質對工件形成二次污染,因此,對電子行業生産加工中使用的純水品質提出了更高要求,“電子級超純水”這一概念應運而生,并制定了相關标準。
電子級超純水制備傳統工藝流程
在超純水制備精制抛光工藝段,需要用到處理精度更高、純淨級别更高、粒徑均一的高品質抛光樹脂,實現對水的精制。藍曉科技采用填補國内技術空白的“噴射造粒”技術,采用國際領先的樹脂生産線系統,生産出了均一系數<1.1的高純度、高轉型均粒H型陽離子交換樹脂和OH型陰離子交換樹脂,經一定比例預混後,用于超純水制備系統末端(精制抛光工藝段),進行精制處理。
“噴射造粒”工藝與傳統工藝對比
藍曉科技精制抛光樹脂牌号及進、出水指标
精制抛光樹脂牌号 |
進水指标要求 |
出水指标 |
Seplite® Monojet™ 6150 |
電阻率>16MΩ·CM |
電阻率>18.1MΩ·CM |
TOC<20ppb |
TOC<2ppb | |
Si<5ppb |
Si<1ppb | |
Seplite® Monojet™ 6040 |
電阻率>17MΩ·CM |
電阻率>18.2MΩ·CM |
TOC<15ppb |
TOC<2ppb | |
Si<2ppb |
Si<0.5ppb |
藍曉科技精制抛光樹脂的優勢特點
(1)擁有更好的流體動力學特性,系統運行壓降更少。
藍曉科技抛光樹脂采用粒徑均勻的凝膠陰、陽樹脂,均一系數<1.1,裝填時避免了小顆粒樹脂對空隙的填充,增大了有效空間,流體阻力顯著減小。
(2)擁有更高的交換速度與工作交換容量。
在相同的處理工況下,均粒樹脂能夠提供更大的樹脂表面積與最小的離子擴散路徑,顯著提高樹脂的交換速度,提升工作交換容量。
(3)更出色的機械強度,運行中樹脂破碎損耗更少。
(4)更高純淨度,雜質離子含量極低。
(5)極高的H型/OH型轉化率,H型率>99%,OH型率>96%。
(6)供貨周期短,能更好滿足客戶需求。
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