掃描電子顯微鏡的工作原理?儀器介紹 掃描電子顯微鏡（英語名稱為Scanning Electron Microscope，縮寫為SEM），簡稱掃描電鏡它是一種電子顯微鏡，利用聚焦電子束掃描樣品的表面來産生樣品表面的圖像，今天小編就來聊一聊關于掃描電子顯微鏡的工作原理?接下來我們就一起去研究一下吧!

掃描電子顯微鏡的工作原理

儀器介紹

掃描電子顯微鏡（英語名稱為Scanning Electron Microscope，縮寫為SEM），簡稱掃描電鏡。它是一種電子顯微鏡，利用聚焦電子束掃描樣品的表面來産生樣品表面的圖像。

最常見的掃描電鏡模式是檢測由電子束激發的原子發射的二次電子（secondary electron）。可以檢測的二次電子的數量，取決于樣品測繪學形貌。

儀器結構

掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統，電子束系統以及成像系統。

真空系統

主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱内産生真空。

電子束系統

由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于産生一束能量分布極窄的、電子能量确定的電子束用以掃描成像。

成像系統

電子經過一系列電磁透鏡成束後，打到樣品上與樣品相互作用，會産生次級電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線等一系列信号。

工作原理

電子與樣品中的原子相互作用，産生包含關于樣品的表面測繪學形貌和組成的信息的各種信号。電子束通常以光栅掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測到的信号組合以産生圖像。

掃描電子顯微鏡由電子槍發射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經過磁透鏡系統彙聚，形成直徑為5 nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線圈的作用下，電子束在樣品上做光栅狀掃描，電子和樣品相互作用産生信号電子。這些信号電子經探測器收集并轉換為光子，再經過電信号放大器加以放大處理，成像在顯示系統上。

入射電子束與樣品相互作用而激發出來的各種信号

儀器特點

① 能夠直接觀察樣品表面的結構。

② 樣品制備過程簡單，不用切成薄片。

③ 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉，因此，可以從各種角度對樣品進行觀察。

④ 景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

⑤ 圖象的放大範圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大範圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間。

⑥ 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。

⑦ 在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發出的其他信号作微區成分分析。

常見分類

1.分析掃描電鏡

掃描電鏡配備X射線能譜儀EDS後發展成分析掃描電鏡，不僅比X射線波譜儀WDS分析速度快、靈敏度高、也可進行定性和無标樣定量分析。

2.場發射槍掃描電鏡

場發射掃描電鏡得到了很大的發展，不僅提高了常規加速電壓時的分辨本領，還顯著改善了低壓性能。

3.低壓掃描電鏡

低壓掃描電鏡LVSEM由于可以提高成像的反差，減少甚至消除試樣的充放電現象并減少輻照損傷，因此受到了人們的囑目。

應用領域

顯微結構的分析

由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信号對樣品進行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數範圍寬和景深大等特點，當陶瓷材料處于不同的外部條件和化學環境時，掃描電子顯微鏡在其微觀結構分析研究方面同樣顯示出極大的優勢。

納米尺寸的研究

高分辨率的掃描電子顯微鏡在納米級别材料的形貌觀察和尺寸檢測方面因具有簡便、可操作性強的優勢被大量采用。

鐵電疇的觀測

掃描電子顯微鏡觀測電疇是通過對樣品表面預先進行化學腐蝕來實現的，可以将樣品表面預先進行化學腐蝕後，利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白襯度來判斷不同取向的電疇結構。對不同的鐵電晶體選擇合适的腐蝕劑種類、濃度、腐蝕時間和溫度都能顯示良好的疇圖樣。

相關品牌

掃描電子顯微鏡的品牌主要為日立（HITACHI），這個品牌擁有不同類型的掃描電子顯微鏡，可以滿足科研的需求。該品牌也擁有X射線熒光分析儀、氨基酸分析儀等多種産品。

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