芯東西（公衆号：aichip001）作者 | 高歌編輯 | Panken

芯東西6月8日報道，剛剛，華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）成功登陸科創闆，發行價為136.66元/股。

華海清科開盤價為235元/股，漲幅達72%。開盤後，其股價略有波動。截至芯東西成文，華海清科股價為235.50元/股，漲幅72.33%，總市值251億元。

華海清科的主營業務為CMP（化學機械抛光）設備，是目前國内唯一一家能夠提供半導體12英寸CMP商業機型的廠商，其産品可覆蓋8英寸（200mm）、12英寸（300mm）晶圓産線，已應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾等國内外芯片廠商的産線中。國家02專項總師葉甜春在上市儀式上評價道，華海清科作為CMP設備供應商，不僅打入了晶圓産線，還成為了晶圓廠的主力供應商，為國産半導體的自主可控做出了較大貢獻。

CMP是先進集成電路制造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵制程工藝。如果将芯片的制造比作房屋的修建，那麼每一樓層都必須要十分平整，否則影響芯片整體性能，CMP技術就是納米級芯片能夠被“平整搭建”的關鍵。

▲CMP平坦化效果圖

報告期内，華海清科營收增長較快，2019年-2021年總營收分别為2.11億元、3.86億元和8.05億元。

截至招股書簽署日，清華大學擁有華海清科37.854%的股份，為公司實際控制人和間接控股股東。

本次IPO，華海清科計劃募資10億元，将分别用于“高端半導體裝備（化學機械抛光機）産業化項目”、“高端半導體裝備研發項目”、“晶圓再生項目”和“補充流動資金”4個項目，扣除發行費用後共募集了34.9億元，超募近2.5倍。

▲華海清科計劃募資情況

華海清科成立于2013年4月，總部位于天津市津南區海河科技園區，是天津市政府和清華大學踐行國家京津冀一體化戰略從而合資成立的企業。

華海清科成立時，創始股東分别為清控創投、康茂怡然、天津财投、科海投資和天津科融。清華大學旗下的清控創投以30項CMP核心技術專利以知識産權出資的方式，占股30.6%；CMP技術的3位主要成果完成人路新春、雒建斌和朱煜，則通過康茂怡然，占股20.4%；天津财投、科海投資和天津科融則分别占股20%、19%和10%。

成立後，華海清科研制成功了國内首台12英寸CMP設備Universal-300，2015年該設備進入中芯國際産線，華海清科也承擔了國家02重大專項。如今，華海清科産品已包括8英寸CMP設備、12英寸CMP設備和12英寸減薄抛光一體設備。

▲華海清科發展曆程

華海清科董事長、首席科學家路新春，是華海清科技術上的核心人物。

根據清華大學報道，2000年起，路新春團隊就開始了對CMP設備的研究，承擔了國家重大科技攻關任務十餘項，研制出了中國第一台12英寸“幹進幹出”銅制程抛光機。

路新春本、碩就讀于吉林大學，之後在中國科學院金屬研究所獲得了博士學位。1994年4月，他進入清華大學博士後和講師工作。1996年-2012年，路新春曆任清華大學精密儀器與機械學系副教授、教授，2013年後為清華大學機械工程系教授、首席研究員。華海清科創辦後，路新春為公司董事長、總經理，2014年7月兼任清華大學天津高端裝備研究院副院長，2020年辦理離崗創業。

▲華海清科董事長、首席科學家路新春

根據招股書，華海清科的主要收入來自于CMP設備的銷售，作為國内唯一具備CMP設備商業化的企業，其在全球及國内晶圓廠擴産的影響下，實現了營收的快速增長。

2019年-2021年，華海清科各期營收分别為2.11億元、3.86億元和8.05億元，年均複合增長率為95.34%。

利潤方面，2019年-2021年，華海清科的淨利潤也随營收快速增長，各期淨利潤分别為-1.54億元、0.98億元和1.98億元。

▲2019年-2021年華海清科營收及淨利潤變化

報告期内，華海清科各期研發投入分别為4496.99萬元、5836.17萬元和1.19億元，分别占營收的21.32%、15.12%和14.82%。

目前，華海清科的CMP設備主要分為300系列和200系列，其中300系列主要應用于12英寸芯片産線，200系列設備則用于8英寸産線。

其中300系列設備為華海清科的主要收入來源，2019年-2021年該業務收入占營收比例均超過84%。

▲2019年-2021年華海清科各業務營收占比

客戶方面，長江存儲自2019年來一直為華海清科的第一大客戶。2021年長江存儲大力擴産、投資，華海清科對其銷售額在當年占比達66.37%。此外，中芯國際和華虹集團也一直位列華海清科的前三大客戶。

需指出的是，長江存儲為清華控股控制的其他企業；華海清科總經理張國銘則在華虹集團擔任外部董事。

▲2019年-2021年華海清科前五大客戶

當前中美貿易關系較為緊張，華海清科零部件的國産化情況在之前科創闆注冊時，受到了上交所的關注。

上市文件指出，其設備前端模塊（傳片模塊）主要産地為日本，主要供應商為RORZE CORPORATION等；流量控制器、波紋管等液路元件來自于日本東京計裝；其機械類通用部件則來自于美國。

其中設備前端模塊為半導體設備專用零部件，華海清科已培養了新松機器人自動化股份有限公司、北京和崎精密科技有限公司等國内供應商；液路元件和機械類通用零部件則非半導體設備專用，受國際貿易摩擦影響較小。

報告期内，北京錦通昌精密機械設備公司一直是華海清科的第一大零部件供應商。

▲2019年-2021年華海清科前五大供應商

從全球CMP設備市場來看，美國應用材料和日本荏原是行業内的頭部玩家。根據美國市場研究公司Gartner數據，2020年全球CMP設備市場規模達到16.3億美元，而應用材料和日本荏原兩家公司所占市場份額在90%左右。

尤其是在14nm及以下的先進制程産線上，芯片制造廠商所應用的CMP設備僅由這兩家國際半導體設備巨頭提供。

▲華海清科與應用材料、荏原對比

國内的CMP設備廠商則有華海清科、北京爍科精微電子裝備有限公司和中國電子科技集團公司第四十五研究所等，目前華海清科是唯一實現12英寸系列CMP設備量産銷售的企業。

中國國際招标網數據顯示，長江存儲、華虹無錫、上海華力一二期項目和上海積塔在2019年-2021年共招标采購181台CMP設備，華海清科共中标68台，占比37.57%，12英寸CMP設備其餘份額由應用材料和荏原所取得。

不過2019年-2021年，華海清科中标設備數量占比逐年增長，2021年其中标設備占比達44.26%。在國内市場上，華海清科已開始對美國應用材料、日本荏原兩家公司的市場份額發起挑戰。

毛利率方面，A股尚無專業生産CMP設備的半導體設備廠商，且應用材料和荏原均生産多種專業設備，并未單獨列出CMP設備相關财務數據。

相比于中微公司、北方華創、芯源微和盛美上海等A股其他半導體設備企業，華海清科毛利率在2019年和2020年低于平均值，在生産規模擴大後的2021年其毛利率達44.73%，超過上述可比公司平均水平。

▲華海清科與同行業可比公司毛利率對比

制程上，目前華海清科的CMP設備主要應用于28nm及以上的制程産線，并已有機台在客戶端做14nm産線驗證，仍和應用材料和荏原存在一定技術差距。

截至2021年末，華海清科研發人員共有224人，占總人數比例達32.37%。其中核心技術人員有董事長兼首席科學家路新春、副總經理王同慶、副總經理趙德文、副總經理沈攀、供應鍊總監裴召輝、監事兼工程技術中心技術總監許振傑、工程技術中心部門資深經理田芳馨和工程技術中心部門資深經理兼總經辦主任郭振宇8人。

路新春為華海清科的董事長、首席科學家，曾獲長江學者、國際ICPT執委等榮譽，累計獲已授權國家發明專利超過100項。

截至2020年12月31日，路新春發表CMP相關SCI論文86篇，每篇文章平均被引用超過10次，位居全球CMP設備領域技術專家前三名，也是全球CMP設備技術授權專利獲得最多的專家。

▲華海清科董事長、首席科學家路新春

王同慶為博士學曆，畢業于清華大學機械工程專業，曾任清華大學精密儀器系博士後、清華大學機械工程系助理研究員、副研究員（2020年9月辦理離崗創業）。2013年4月至今，他曆任華海清科研發總監、總經理助理和副總經理等職。王同慶已發表CMP相關SCI論文30餘篇，并作為發明人獲得授權專利77項。

趙德文博士畢業于清華大學機械工程專業，曾為清華大學精密儀器系博士後、清華大學機械工程系助理研究員、副研究員（2020年9月辦理離崗創業）、華海清科總經理助理、技術總監、副總經理等職。他已發表CMP相關論文30餘篇，SCI收錄20餘篇，并獲得2項國際學術獎和授權專利95項。

沈攀碩士畢業于中國地質大學（北京）機械設計及理論專業，2009年6月至2013年8月任清華大學摩擦學國家重點實驗室工程師；2013年8月至今任華海清科副總經理。他主要負責晶圓傳輸及抛光修整技術研發，獲得授權專利60項。

裴召輝碩士畢業于機械科學研究總院武漢材料保護研究所機械設計及理論專業，2009年-2013年任清華大學摩擦學國家重點實驗室機械工程師，2013年8月加入華海清科，至今擔任采購部經理和供應鍊總監職務，其作為發明人獲得授權專利8項。

許振傑碩士畢業于中國礦業大學機械設計及理論專業，曾任清華大學摩擦學國家重點實驗室工程師、華海清科工程技術中心部門資深經理、技術總監、監事等職，獲得授權專利54項。

田芳馨碩士畢業于哈爾濱工業大學機械工程專業，2009年7月至2013年8月任清華大學摩擦學國家重點實驗室軟件工程師；2013年9月至今曆任華海清科工程技術中心部門副經理、經理、資深經理等職，獲授權專利10項。

郭振宇畢業于清華大學電氣工程專業，碩士研究生學曆，曾任清華紫光英力化工技術有限責任公司項目經理、清華大學摩擦學國家重點實驗室電氣工程師等職。2013年8月，郭振宇加入華海清科，主要負責CMP裝備自動控制研究與開發，曆任工程技術中心部門經理、資深經理兼總經辦主任，獲授權專利8項。

截至招股書簽署日，清華大學擁有華海清科37.854%的股份，為公司實際控制人和間接控股股東。

▲華海清科股權結構圖

但值得注意的是清華大學于2021年12月10日和四川省能源投資集團有限責任公司簽署了《國有産權無償劃轉協議》，拟通過無償劃轉方式将所持清華控股的100%股權劃轉給四川能投。

該協議生效後，華海清科的間接控股股東為四川能投，四川省國資委将成為公司實際控制人。

▲轉讓協議生效後華海清科與四川省國資委股權關系

截至2022年4月30日，華海清科的股權無償劃轉及重組方案已獲得國家市場監督管理總局決定書，清華大學将清華控股100%股權劃轉至四川省國資委的事項已分别獲得四川省國資委和中華人民共和國教育部的批複。

四川省國資委将清華控股100%股權以股權投資方式，投入四川能投相關具體事項則尚需獲得四川省國資委進一步批複。

此外，國開科創、浙創投、中芯海河、武漢建芯等重要的産業基金也均有投資。

▲華海清科前10大股東

華海清科為下遊的國産芯片制造廠商提供了自主、可控的12英寸CMP半導體設備選擇，打破了美國、日本半導體設備巨頭的壟斷，有利于CMP設備的競争以及下遊芯片制造廠商的成本把控。本次IPO，華海清科将有更多的資金可以投入先進制程CMP設備的研發和市場競争中，有利于國産半導體供應鍊的發展。

近兩年，全球缺芯推動了晶圓廠擴産熱潮，華海清科獲得了國内長江存儲、中芯國際和華虹集團等龍頭企業的CMP設備訂單，營收和淨利潤增長迅猛。但同時，半導體行業存在周期性，在各地晶圓廠擴産建成後，芯片短缺将有所緩解，其半導體設備訂單或有所下降。

這樣的情況下，華海清科不僅有可能要面對營收下降，還要面對國際半導體設備龍頭的市場和技術競争，或将有較大的生存壓力。

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