在集成電路中尺寸越來越緊湊,相鄰圖形間距離越來越小的時候,引來的麻煩已經不僅僅是單一圖形形狀的改變。大家知道光線從窗口照進來,邊緣部分會變得模糊,這是由于光的衍射本質造成的。
而當兩個圖形相鄰較近時,麻煩就更大了,由于二者衍射光的疊加,而使得兩個圖形連接了起來。為了應對這種物理現象,研究人員在光掩膜上想辦法,使相鄰兩圖形間透射的光線因光程差的原因而相位相反。這樣一來,二者各自的衍射光彙合到一起的時候,相互抵消,反倒留下了幹幹淨淨的兩個相鄰圖形。如下圖所示。這種補償方式叫作相位補償。
當相鄰圖形更複雜時,其補償方法也相對更為複雜。如下圖所示,無需一一解析,細品即可理解,這裡就不解釋了。
本系列科普文章的下一篇是(16)《光刻技術的發展現狀》。
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