我們知道，MEMS（Micro-Electro-Mechanical System微機電系統）是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件，是一個集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信号處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統。

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MEMS加工技術帶動了傳感器向微型化發展，盡管MEMS技術能夠将工藝精度控制在很小的範圍内，但還是很難精确地控制擴散矽的摻雜濃度，這就直接導緻了MEMS傳感器零位溫度漂移和靈敏度溫度漂移的存在。工作溫度範圍變化通過兩種方法影響傳感器：其一是造成零點漂移，其二是影響整個量程的輸出。當MEMS傳感器工作溫度的範圍不斷增大時，為減少由于溫度的變化産生的漂移現象，就需要對MEMS傳感器進行溫度補償。不過，溫度範圍越寬，補償技術難度越大，校準工作量也越大，所能保證全溫度範圍的精度也越難。

智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器

為解決溫度範圍和傳感器精度之間的矛盾，北京智芯傳感科技有限公司（簡稱：智芯傳感）通過多年的研發和實踐，推出了ZXP6系列高精度寬溫域差壓氣體壓力傳感器。該壓力傳感器的核心是MEMS壓力傳感器和專用調理芯片，采用了當前先進的壓力傳感器技術和高集成、低功耗、高精度的數字信号處理技術，提供了完整的壓力校準和溫度補償，獲得放大的模拟輸出信号，可實現全溫區範圍内最大誤差率僅為1%。

智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器适用領域也非常廣泛，目前已在醫療、工業和消費電子等多個領域進行産品應用并收獲市場高度認可及客戶廣泛好評。其中，在醫療應用方面，ZXP6差壓氣體壓力傳感器憑借優秀的性能參數表現及産品特性，成為呼吸機氣路系統的關鍵部件。在呼吸機工作過程中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器生成的信号，能夠幫助微處理器調節電機，從而調整或維持病人吸氣和呼氣所需的氣壓，時刻監測病人的呼吸信号來控制呼吸器的動作，使之與人體呼吸同步。而在另一款“救命神器”制氧機的使用中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器可對制氧機中吸附塔壓力進行精準測量，進而為制氧機供氧調節提供重要數據支持，确保充足供氧，同時，可對患者是否有開始吸氣進行監測，以避免不吸氣時氧氣的浪費。此外，ZXP6差壓氣體壓力傳感器還在生物安全櫃、肺量計、呼吸功能檢測儀器等多個醫療器械中适用并發揮重要作用。

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智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器性能優良，可供量程-500-500kPa差壓和表壓的氣體測量，工作溫度範圍達到了40~125℃。另外，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器有貼片和插針式兩種安裝方式，采用先進的 MEMS微加工工藝設計制作，通過高可靠性封裝技術，産品的精度和穩定性可以達到±1%FS。

智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器，實現了寬溫域高精度監測，憑借先進的産品性能在醫療、工業、消費電子等多個應用中發揮重要作用。相信在越來越多的市場檢驗中，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器一定能夠進一步為客戶提供安全可靠、質量穩定、體驗卓越、價格合理的産品服務，進而創造更高的産品價值。

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