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集成電路裝備研發

生活更新时间:2024-12-23 03:57:17

湖南日報全媒體記者王銘俊通訊員張星嚴婧馮冠華

集成電路裝備研發（單一研發轉入批量生産）1

（2月10日，中國電子科技集團公司第四十八研究所廠房内，技術人員調試着集成電路裝備。）

2月10日上午，中國電子科技集團公司第四十八研究所（以下簡稱“四十八所”）半導體裝備批量制造廠房内，20餘台立式和卧式高溫爐管裝備顯示器上，各種參數不停地跳動着。

這些高溫爐管裝備是制作集成電路的關鍵裝備之一。

“集成電路有多重要？如果把芯片比作一本書，那麼半導體就是制作這些書的原材料，而集成電路便是書上的文字和圖案。”

制作集成電路，也就像“給芯片刻下不同的文字、繪上不同的圖案”。四十八所高級工程師鞏小亮告訴記者，由四十八所研制的裝備，現已服務于制作集成電路過程中超過半數的工序。

“我們正由傳統的單一科研模式轉型為科研和生産并重的新型研發模式。”走進明亮潔淨的廠房，四十八所所長王平自豪地指向并排林立的批量裝備，“以往做科研攻關，我們隻需要研發出1台或者2台這樣的設備。進入量産階段後，我們不僅開發設備，而且摸索出成熟工藝交付用戶，今年就将出貨100台以上。”

“嘀嘀嘀……”一台卧式擴散爐自檢系統發出蜂鳴提示。卧式爐管設備課題組組長黃志海通過設備自檢顯示屏上的彈幕提示，迅速找到工藝模拟異常部位，随之按照彈出的故障排查操作提示進行操作。不到一分鐘，設備便恢複正常運作。類似設計，可以簡單便捷地幫助用戶現場排查并解決故障。

科研與生産相互反哺。“我們近600名工作人員，每天都在精進着各種細小的技術，努力鍛造新裝備、新産品。”王平介紹，在半導體裝備批量制造廠房内進行組裝和反複調試後，打上了湖南印記的高溫爐管、磁控濺射沉積設備等集成電路關鍵裝備，将運往國内的主要芯片制造企業。

1964年，四十八所在長沙成立。風雨近60載，已發展成為國家第三代半導體技術創新中心（湖南）的牽頭單位。“發展第三代半導體，我們與世界領先國家處于并跑的狀态。”王平說，四十八所正通過建設國産核心裝備技術研發與中試平台，形成完善的裝備研發及産業化創新體系，讓科學變技術、技術變産品、産品變産業。

[責編:李傳新]

[來源:湖南日報]

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