數字微鏡器件本質上是一組陣列式光開關器件,是在CMOS集成電路襯底上(地址電路)加工制造的MEMS器件。每一個CMOS單元對應控制一個可動的微鏡,即對應一個像素。
跷跷闆型微鏡的基本結構為:襯底為CMOS電路,控制微鏡偏轉和方向選擇的地址電極由通孔與其下的CMOS電路連接在一起,一個柔性可扭轉的鉸鍊與轭連接系統支撐着微鏡,微鏡下左右對應兩個地址電極。在左、右地址電極電壓與微鏡上施加的調制偏置電壓的共同控制驅動下,微鏡發生左右轉動,當與着陸電極接觸時,就構成了個穩定的狀态。改變其相對電壓的大小和極性就可以改變其偏轉方向,微鏡因此具有雙穩态特性。在系統電路控制下,微鏡就像跷跷闆一樣起起伏伏,控制光的反射方向,對應開與關的狀态。微鏡最大旋轉角度為10或12度,定義 10度的位置為光的“開”,即亮的狀态,定義-10度為光的“關”。所以,跷跷闆型微鏡也是數字微鏡開關器件。
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