由于氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等，所以可将組成氣體的物質（或元素）稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為：除本氣體成份外，所含其它物質的多少。例如：氮氣的純度，是指除N成份外，含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬、塵粒等雜質的多少；氨氣的純度，是指除NH3成份外，含有的O2、N2、CO2、H2O、塵粒等雜質的多少；又如氮和氦的混合氣，是指除N2和He成份外，含有的O2、CO2、H2O塵粒等雜質的多少。
氣體純度的提法有多種，如普通純、高純氣體、電子純、特純等，随着超大規模集成電路（VLSI）和特大規模集成電路（ULSI）的發展，又有VLSI和ULSI級純的超淨氣體。這些提法都不十分确切，隻是粗略的講了氣體純度的高低，沒有真正說明氣體純度的大小。
氣體純度常用的表示方法：
1、用百分數表示，如99%，99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
2、用“N”表示，如3N，5N，4.8N，5.5N，6N，7N等，N數目與（1）中的“9”的個數相對應，小數點後的數表示不足“9”的數。如4N（99.99%），4.8N(99.998%)、5.5N(99.9995%)、6N（99.9999%）、7N(99.99999%))等
根據氣體純度的不同，通常又将氣體純度分為四級，即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體，下表給出氣體純度等級和器件生産工藝上的應用。
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