電鏡元素分析操作?開始的時候能譜的縮寫有很多，比如EDS，EDX，EDAX等，大家對此也都心照不宣，知道ED就是Energy Dispersive，後面因為X-ray Analysis和Spectrum這幾個詞的不同用法，導緻了縮寫的不同而且相應的漢譯也有很多，比如能量色散譜，能量散射譜等等，我來為大家科普一下關于電鏡元素分析操作?以下内容希望對你有幫助!

電鏡元素分析操作

開始的時候能譜的縮寫有很多，比如EDS，EDX，EDAX等，大家對此也都心照不宣，知道ED就是Energy Dispersive，後面因為X-ray Analysis和Spectrum這幾個詞的不同用法，導緻了縮寫的不同。而且相應的漢譯也有很多，比如能量色散譜，能量散射譜等等。

不過，到了2004年左右，相關協會規定，EDS就是能譜或者能譜儀，EDX就是能譜學，Dispersive就不去翻譯。

這樣EDS就應該是文章裡的正規用法，而現在有很多文章仍然使用其他說法，有約定俗成的味道，大家知道怎麼回事就行了。

A2:因為很多人知道TEM的分辨率高，所以認為TEM所配能譜的分辨率高于SEM。這可以說是一個非常錯誤的論斷。

同樣廠家的能譜，同一時期的産品，用于TEM的分辨率通常要低于SEM幾個eV，誠然，TEM可能會觀察到更小的細節，但這隻是能譜分析範圍的精準，并不代表能譜的分辨率高。SEM的樣品比較容易制備，而且跟厚度關系不大，一般電子束深入樣品的高度為幾個微米，定量時可以放相應樣品的标樣（比如純Si就用純Si标樣，MgO就用MgO标樣，有很多國家級标樣供選擇）來做校正。比較重的元素諸如很多金屬和稀土元素的分析結果可以認為是定量的。

看了EDS的原理這個問題就會明白。

EDS是一個電子殼層的電子被外來粒子或者能量激發，留下一個空位，然後外層電子躍遷至這個空位，同時就會放出特征X射線，這樣不同殼層之間的電子轉移導緻的能量差就會有不同的譜線，EDS譜線就是把這些特征X射線脈沖的累積分開得到的。

這樣一來，譜線越多，說明外面的電子占有殼層越多。而定量分析時是根據不同元素來選擇不同線系的譜峰強度以及這個元素的響應值來做計算的，所以譜峰多跟元素含量沒有關系。

這個就要注意是否選取的樣品位置周圍有大顆粒或者其他厚介質的存在，吸收了本來産率就低的輕元素X射線，對譜峰結果産生了嚴重幹擾。

當有這種現象時，可以選擇其他區域的樣品比較一下一些過渡元素的K線系和L線系，或者原地傾轉樣品，調整樣品位置，看是否有明顯的變化，以此判斷原分析結果的可靠性。

發生這個問題可能存在以下幾種情況：

a) C和O，一般空氣中都有油脂等有機物的存在，很容易吸附到樣品表面造成污染，無論TEM還是SEM，都有可能看到C和O的峰。尤其TEM，一般使用C膜支撐，有C再正常不過了。

b) Al或者Si：SEM因為使用Al樣品台或者玻璃基底，所以在樣品比較薄的區域掃譜，會有基底的信号出來。

c) Cu和Cr：這個是TEM裡特有的，Cu是使用載網的材質Cu導緻的，而Cr一般認為是樣品杆或者樣品室材質裡的微量元素導緻的。

d) B：有些時候分辨率忽然極高，看到了清晰的B峰，這要注意，因為樣品在掃譜過程中大範圍移動就容易出現這個峰，還有如果樣品處于加熱狀态，也會有B的峰出現。

e) 一些很難見到的稀土元素或者La系Ac系元素，這很可能是因為噪音的峰較強，儀器的分析認為有微量相應能量區的元素存在，用軟件去除即可。

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