今天我們來說說表面精度
面精度由最高點和最低點的"高低差"表示。
通常,西格瑪光學機的抛光産品使用面精度表示法來表明産品的表面平整度。
面精度有兩種類型:反射波面精度和透射波面精度,西格瑪光機産品目錄中顯示的面精度為反射波面精度。
反射波面精度(以下簡稱 "面精度")是指在整個有效範圍的表面上看,最高點(峰)與最低點(谷)之差,稱為PV值(簡稱PV值)。
這個高度差用激光幹涉儀光源的波長 "λ "表示為 "λ/4 "或 "λ/20",用于表示面精度。
例如,西格瑪光機目錄中的面精度為λ/10,表明有效範圍内的高度差在63.2nm以内。
這是因為激光幹涉儀使用波長為632.8納米的He-Ne激光作為光源。當使用PV值表示λ/10時,該值為0.1。
舉個例子,假設有一塊面精度為λ/10,直徑為100mm的平面基闆(對應于Sigma Optics的标準産品OFPXP-100C15-10),面精度測試波長為632.8nm(He-Ne)。
那麼,把這個平面基闆想象為直徑100米的場地,那麼它的表面上最高和最低點的差别為也僅僅為63um,也就是一張紙的厚度。
利用"牛頓環"計算面精度
通常,我們都使用幹涉的方法來測量面精度。這是因為基闆表面的高低差太小的緣故。
一個簡單的方法是将光學平闆與樣品進行比較。
測量時看到的條紋稱為牛頓環,根據條紋和條紋的距離和條紋的彎曲來計算面精度。
計算公式如下所示:
面精度 = 測量波長 / 2 x 幹涉條紋的彎曲量/條紋和條紋之間的距離
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