淨化間亦稱為無塵室或潔淨室,那麼淨化間沾污分類有哪些?PChouse為大家解答一下。
沾污是指半導體制造過程中引入半導體矽片的任何危害芯片成品率及電學性能的不希望有的物質,淨化間沾污分為五類:
1、顆粒,所有可以落在矽片表面的都稱作顆粒,主要來源于空氣、人體、設備和化學品。
2、金屬雜質,來源于化學試劑,離子注入,反應離子刻蝕等工藝。
3、有機物沾污,來源于環境中的有機蒸汽,清潔劑和溶劑,存儲容器和光刻膠的殘留物。
4、自然氧化層,來源于空氣,或水中迅速生長而成。
5、靜電釋放(ESD),是指靜電從一個物體向另一個物體未經控制的轉移,可能會損壞芯片。
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