無論是大氣(常壓)等離子清洗機,還是真空(低壓)等離子清洗機,在對材料進行表面改性的時候都會通入工藝氣體,如無水無油的幹淨壓縮空氣,有一定純度要求的氮氣、氧氣、氩氣等,這些氣體和等離子體有什麼區别呢?
等離子清洗機中通入的普通工藝氣體要想轉化為等離子體,每個粒子大約需要1~30eV(1eV=1.6022×10-19焦耳)的能量,其中的粒子具有較高的活性和能量密度。
但要注意的是,電離的氣體不一定是就是等離子體,雖然等離子體和普通氣體存在一些共同特點,如它們均滿足氣體狀态方程,但它們卻有截然不同的性質,主要的3個方面的區别,現對比如下:
普通氣體和等離子體之間的區别
真空(低壓)等離子清洗機中的四氟化碳等離子體圖片
四氟化碳等離子體(CF4)
真空(低壓)等離子清洗機中的氧等離子體圖片
氧等離子體(O2)
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