#氩氣#
氩氣是一種工業上廣泛使用的稀有氣體。它本質上是非常惰性的,既不能燃燒也不能忍受燃燒。在飛機制造業、造船業、原子能工業和機械工業等部門,氩氣經常被用作焊接鋁、鎂、銅及其合金和不鏽鋼等特殊金屬的保護氣體,以防止焊縫空氣氧化或氮化。
高純度氩主要用于焊接、不鏽鋼制造和冶煉,以及半導體制造過程中的化學氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶矽、鎢、離子注入、電流載體和燒結。氩氣被用作生産單晶矽和多晶矽的保護氣體。為了提高矽晶體的質量,如何選擇高純氩是矽晶體生産中的一個問題。通過使用該裝置,當氩氣純度小于1ppm,含水量小于1ppm時,所生産的單晶矽的氧、碳含量小于0.5ppm,提高了單晶矽的使用壽命,滿足了要求,赢得了客戶的滿意和市場需求。
由于普通液态氩蒸發後不純化,其含氧量一般為2ppm ~ 5ppm。有時,天然氣供應商提供的氩氣超出了這一範圍,但使用氩氣的客戶不知道氩氣的質量,這往往會影響所生産産品的質量。對于氩氣淨化裝置,無論氩氣原料氣的質量如何,隻要經過淨化裝置處理,進入結晶牽引爐的氩氣純度保持不變。一般來說,氧氣<0.2ppm,水分<1ppm,因此穩定的氩氣可确保晶體生産的質量。
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