光切顯微鏡是一種專用測量光潔度的設備。
測量光潔度的方法如下:
1、光切法顯微鏡可用測微目鏡測出表面平面度平均高度值;
2、被檢工作物的安放和顯微鏡調焦;
3、輪廓平面度的測量,帶輔助物鏡的物鏡放大倍數;
4、表面顯微輪廓的攝像,計算光潔度。
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