氧化鎂(MgO)單晶基片廣泛應用在多個薄膜技術領域中。如用于制作磁學薄膜、半導體薄膜、光學薄膜和高溫超導薄膜等。由于氧化鎂單晶在微波波段的介電常數和損耗都很小,且能得到大面積的基片(直徑2"及更大),所以是當前産業化的重要高溫超導薄膜單晶基片之一。 可用于制作移動通訊設備所需的高溫超導微波濾波器等器件。具有很大的現實及潛在應用市場。
主要性能參數 | |
生長方法 |
弧熔法 |
晶體結構 |
立方 |
晶格常數 |
a=4.130 A |
熔點(℃) |
2800 |
純度 |
99.95% |
密度(g/cm3) |
3.58 |
硬度 |
5.5(mohs) |
熱膨脹系數(/℃) |
11.2x10-6 |
晶體解理面 |
<100> |
光學透過 |
>90%(200~400nm),>98%(500~1000nm) |
介電常數 |
ε= 9.65 |
熱導率(卡/度 厘米 秒) |
0.14 300°K |
尺寸 |
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
dia2” x 0.33mm dia2” x 0.43mm 15 x 15 mm | |
厚度 |
0.5mm,1.0mm |
抛光 |
單面或雙面 |
晶向 |
<001>±0.5o |
晶面定向精度: |
±0.5° |
邊緣定向精度: |
2°(特殊要求可達1°以内) |
斜切晶片 |
可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片 |
Ra: |
≤5A(5μm×5μm) |
主要特點 |
由于MgO單晶在微波波段的介電常數和損耗都很小,且能得到大面積的基片(直徑2英吋及更大),所以是當前産業化的重要高溫超導薄膜單晶基片之一。 |
主要用途 |
用于制作磁學薄膜、半導體薄膜、光學薄膜和高溫超導薄膜等,也可用于制作移動通訊設備所需的高溫超導微波濾波器等器件。 |
包裝 |
100級潔淨袋,1000級超淨室 |
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