電子工業含磷酸廢液的特點及處理方法。康景輝小編今天跟大家一起聊聊電子工業含磷酸廢液的特點及處理方法。
一、電子工業含磷酸廢液來源
面闆行業和集成電路行業是電子工業的典型代表，電子級磷酸在其中應該用廣泛，其實際應用工藝中，産生的含磷酸廢液有很多不同特性。
在薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)的制作工藝中，钼鋁金屬層蝕刻用的蝕刻液主要由磷酸、硝酸及醋酸混合而成，各自的比例介于60% ~ 65%、1%~ 5%、4% ~ 6%。
反應機制主要為：先利用硝酸的強氧化性将鋁金屬層氧化成氧化鋁，再由磷酸與氧化鋁反應生成可溶性的磷酸鋁，其中醋酸為緩沖溶液，扮演H提供者的角色，使蝕刻率維持穩定。
二、電子工業含磷酸廢液的特點
面闆和集成電路等電子工業經蝕刻或清洗工藝産生的含磷酸廢液的主要成分仍是磷酸（含量≥50%)、硝酸、醋酸的混合物，其中陽離子主要有鋁、钼、銀和其他微量金屬離子2。除有無色透明的以外，該廢液還存在多種顯色形态，如帶灰色懸浮的、淺藍色澄清的等。
主要原因是在電子工業中為了提升磷酸蝕刻或清洗效果,添加了抑制劑、分散劑等有機活性劑成分。
三、電子工業含磷酸廢液的處理方法
制備磷酸鈉鹽或铵鹽技術
通過活性炭攔截含磷酸廢液中的懸浮物并脫色後，添加液堿或者氨氣，充分反應後即可得到磷酸鈉或铵鹽溶液，通過控制中和反應末端pH的方式确定産出鹽産品種類，通過分級冷卻結晶加離心的方式得到産品。
可以采用廢磷酸與廢堿液反應，控制pH在9左右時，停止滴加廢堿液，通過真空濃縮和結晶的方式最終得到磷酸氫二鈉産品。
目前可以通過對工藝的改進保證磷酸氫二鈉達到《工業磷酸氫二鈉》(HG/T 2965——2009)的要求。由于工藝流程短，資源利用率高,對應設備耐蝕性能需求低，該技術成為含磷酸廢液處理的合理工藝方向之一，其中産生的磷酸鹽因種類不同而具有不同的市場價值。
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