四氟化矽的水解産物是矽酸和氟化氫。
四氟化矽:無色刺激性氣體,易潮解,在潮濕空氣中可産生濃煙霧。熔點是零下90.2攝氏度,沸點是零下86攝氏度,易溶于乙醇、硝酸、氫氟酸,不溶于乙醚。其儲存注意事項是儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與酸類、食用化學品分開存放,切忌混儲。儲區應備有洩漏應急處理設備。
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