光刻機是什麼意思?光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是制造芯片的核心裝備它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到矽片上,我來為大家科普一下關于光刻機是什麼意思?以下内容希望對你有幫助!
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到矽片上。
生産集成電路的簡要步驟:利用模版去除晶圓表面的保護膜。将晶圓浸泡在腐化劑中,失去保護膜的部分被腐蝕掉後形成電路。用純水洗淨殘留在晶圓表面的雜質。
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