矽片清洗如何?首先去除矽片表面的有機沾污,因為有機物會遮蓋部分矽片表面,從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除;,今天小編就來說說關于矽片清洗如何?下面更多詳細答案一起來看看吧!
首先去除矽片表面的有機沾污,因為有機物會遮蓋部分矽片表面,從而使氧化膜和與之相關的沾污難以去除;
然後溶解氧化膜,因為氧化層是“沾污陷阱”,也會引入外延缺陷;最後再去除顆粒、金屬等沾污,同時使矽片表面鈍化。
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