好人檔案：

林曉玲，工業和信息化部電子第五研究所正高級工程師，她在高端芯片的缺陷定位、物理分析等方面取得一系列國際領先的原創性成果，為探月工程、北鬥衛星等重大工程做出關鍵貢獻。她自主研發的倒裝芯片背面減薄技術，直接應用于衆多的重大工程中，為“嫦娥”衛星和“玉兔”車等設備的可靠運行保駕護航。

多年來，林曉玲團隊先後榮獲“中國電子信息科技創新團隊獎”、全國“五一巾帼标兵崗”、“巾帼文明崗”等榮譽。林曉玲個人先後榮獲 “廣東省三八紅旗手”、“廣東省五一勞動獎章”、 “全國先進工作者”等表彰。今年6月，她榮獲2022年第一季度“廣東好人”稱号。

工業和信息化部電子第五研究所正高級工程師林曉玲。（受訪者供圖）

一塊隻有指甲大小的芯片，承載着上百億個納米級的晶體管，構建出如同摩天大廈一般精密而複雜的結構，這一切令林曉玲着迷。“簡直是歎為觀止，有時會感到抓狂，這到底是怎麼做出來的。”

林曉玲專注芯片可靠性與失效分析研究已經18年。累計發表SCI/EI論文30餘篇，獲發明專利授權11件，自主研發失效分析相關軟件6套并成功推向市場；先後承擔及參與國家重大項目、省重點領域研究計劃等課題近30項，研究成果榮獲“省部級科學技術進步獎一等獎/二等獎”……科研成果豐碩，然而每一次進入實驗室，芯片技術發展帶來的新工藝、新問題，仍然使她興緻高漲地想要一探究竟。

自主研發芯片背面減薄技術

為“嫦娥”衛星運行保駕護航

“我的工作有點像醫生，各種電子元器件是檢查診斷的對象，找到電子元器件出現瑕疵、缺陷和故障的部位，然後分析原因，解決問題，預防和減少器件失效。”小到家電、汽車，大至飛機、火箭，電子元器件的應用無處不在，這是林曉玲感興趣的領域，從本科到博士深造，她學習的領域一直是微電子學與固體電子學專業。進入研究所工作後，芯片質量和可靠性成為她主攻的探索方向。

“芯片是所有電子元器件中集成度最高、複雜度最大的，所以找出芯片的缺陷，難度也是最大的。”林曉玲向記者描述她眼中的芯片世界。一塊芯片上往往集成着上億甚至上百億個納米級的晶體管，晶體管通過若幹端口和金屬互連線連接，端口之間的距離隻有幾到幾十納米，所有互連線疊加起來形成一個十幾層的結構，理論上要用上萬倍甚至近百萬倍的顯微鏡才能觀測清楚。

做芯片缺陷定位分析，就好比在茫茫大海裡尋找一個晶體管，或者一根線路。為了精準分析芯片的問題，需要綜合應用失效定位、樣品制備、微觀分析，成分分析、失效預防等成體系的專業技術方法。

林曉玲和同事在實驗室。（受訪者供圖）

入職不久，林曉玲就碰到了新型倒裝芯片的失效分析技術難題。要想實現倒裝芯片的缺陷定位，必須将不到1毫米的芯片研磨到紅外光可透過的200微米左右厚度（注：1毫米=1000微米）。

但又薄又脆的芯片經不起幾下打磨，就裂開碎掉了。為了解決這個難題，林曉玲四處查閱文件資料，請教相關領域專家，通過一遍遍摸索，終于把倒裝芯片順利減薄到了最佳厚度，同時保持減薄前後芯片的電性能不變。

芯片減薄的行業标杆在林曉玲團隊的集智攻關下不斷被刷新，他們自主研發的超大規模倒裝封裝高精度、微米級芯片精确減薄技術，為“嫦娥”衛星和“玉兔”車的可靠運行保駕護航。

“芯片減薄技術可以把芯片削薄到30—200微米以内，從而在地面抗輻射實驗中可以測量評估出芯片的抗輻射水平，使實驗更加準确、可信。”林曉玲向記者解釋，衛星探測器裝載了芯片等大量電子元器件，在太空中會面臨太陽粒子、宇宙射線等的輻射，可能會導緻衛星出現數據丢失、功能受損等問題。所以必須在地面對芯片進行抗輻射能力的評估實驗，通過施加各種射線在芯片上，記錄觀測性能的變化，為芯片的抗輻射加固提供實驗支撐。

打球中場休息也可讀文獻

科學探索之路永無止境

“慢慢來，不要急，先确認清楚。”每次接手重大工程開始做實驗前，林曉玲都會這樣提醒團隊成員。“一塊一厘米乘一厘米的芯片，根據分析需求，有時是把厚度削減到1/10去做缺陷定位，有時是滴幾滴腐蝕液對芯片進行局部去層處理，這個過程是很緊張的，有時一個傾斜角度不對就會導緻失敗，必須慎之又慎。”

高度專注，腳踏實地，是林曉玲對待科研一貫的态度。每進行一項技術攻關前，她都要帶領團隊成員查閱國内外文獻了解前沿技術，開會讨論進行頭腦風暴，請教同行前輩，最後形成方案。

“無論在哪裡，隻要我能動腦，就可以一直思考。”林曉玲喜歡各種運動，每次去球場，她都随身帶上文獻，中場休息對她來說是絕佳的讀文獻時間。晚上或者周末，她吭哧吭哧地計算完兒子初中的數學難題後，就坐在一旁繼續讀文獻，了解業界動态。

“走路可以想問題，吃飯也可以想，坐一兩小時的班車通勤時也可以想，每次想到什麼及時記下來。有時半夜夢醒，白天困擾的問題突然有了思路，一定要起床把它寫下來，不然睡不着了。”

林曉玲熱愛科研事業，十年如一日。有時放假輕松了，她反而感覺渾身不對勁。“好像有點虛度光陰，還是保持忙碌的狀态感覺踏實些。”

林曉玲有集郵的興趣愛好，郵票和芯片在她眼裡很相似，“方寸之間，有很大很豐富的世界。” 芯片技術在不斷發展，她認為自己的工作永遠是發現問題，解決問題。

出現新材料、新工藝、新結構，芯片可靠性和失效分析技術要同步更新；針對一種結構的技術研發出來後，就應該馬上着手另外一種結構的技術研發。“技術儲備越多越好，不斷探索，為芯片事業出力。”她感歎這份事業的魅力所在，“這真的很好。”

采寫：南都記者 王瑜玲

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