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真空泵有哪幾種

知識 更新时间:2024-08-12 15:26:03

  真空泵的分類:

  按工作原理分類:

  1、氣體輸送泵,包括變容真空泵、動量傳輸泵;

  2、氣體捕集泵,包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵。

  按真空度分類:

  1、粗真空度;

  2、高真空度,包括滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵;

  3、超高真空度。

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