1、多晶矽,是熔融的單質矽在過冷條件下凝固時,矽原子以金剛石晶格形态排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶矽;
2、單晶矽,矽的單晶體,具有基本完整的點陣結構的晶體,不同的方向具有不同的性質,是一種良好的半導材料;
3、低溫矽,是指矽烷在低溫下由分解反應形成的單質矽,其與多晶矽的原子排列形式不同,又稱為無定形矽。
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