真空鍍膜設備驗收标準-tft每日頭條

真空鍍膜設備驗收标準

科技更新时间:2024-09-09 16:53:50

真空蒸發鍍膜法：就是将鍍的基材放于真空鍍膜機的電極上進行加熱，使其蒸發變為氣體，由于鍍膜室處于真空狀态，所以氣體膜材的運輸不會收到阻礙，最後沉積到基片表面，就形成了均勻的薄膜。

整個過程分為三個步驟：

1、膜材的蒸發過程，需要确立條件：膜材料的蒸發溫度，膜材蒸發的最佳蒸汽壓；膜材料的蒸發速率。

2、膜材料的蒸發過程逸出的遷移，所需确立條件：在鍍膜過程中，要保持真空室内的真空度一直高于10-2Pa，真空度應該是一個适宜的固定值，并不是越高越好。

3、逸出的粒子到達基片表面成膜的過程，所需确立條件：适當提高蒸發速率有利于形成純淨度較高的膜。

真空鍍膜設備驗收标準（真空鍍膜設備的簡介及應用範圍）1

真空鍍膜的運作過程

其中拿濺射鍍膜法來舉例子：濺射鍍膜法的原理是用荷能離子轟擊靶材，将分子或者原子從靶材上激射下來最後成膜。如圖所示

真空鍍膜設備驗收标準（真空鍍膜設備的簡介及應用範圍）2

濺射鍍膜運作過程

影響濺射産額的因素主要有：入射離子的能量大小、靶材的種類，入射離子種類、轟擊離子的入射角以及靶材溫度等。控制好靶材的種類能大大提高濺射産額。

該設備集磁控濺射與離子鍍膜技術為一體，對提高顔色一緻性、沉積速率及化合物成份的穩定性提供了解決方案。根據不同的産品需求，可選配加熱系統、偏壓系統、離化系統等裝置，其靶位分布可靈活調整，膜層均勻性優越；配備不同的靶材，可鍍制出性能更好的複合膜層。設備所鍍制的膜層具有附着力強，緻密性高的優點，可有效提高産品的耐鹽霧性、耐磨性及産品表面硬度，滿足了高性能膜層制備的需求。可适用于不鏽鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃、陶瓷等材質；可制備TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等金屬化合物膜層；可實現深黑色、爐内金、玫瑰金、仿金、锆金、寶石藍、亮銀色等顔色。

設備主要用于電子産品五金件、高檔鐘表、高檔首飾、品牌皮具五金件等。

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