高精度真空鍍膜裝置,抽真空裝置包括真空泵和真空壓力傳感器,真空壓力傳感器設置于中央真空室内;新型高精度真空鍍膜裝置提高了鍍膜厚度控制精度,提高了産品加工工藝的重複性。
真空鍍膜是一種由物理方法産生薄膜材料的技術,在真空室内材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。其被廣泛應用于生産光學鏡片,如航海望遠鏡鏡片等;後延伸到其他功能薄膜,唱片鍍鋁、裝飾鍍膜和材料表面改性等。真空蒸發鍍膜是在真空室中,加熱蒸發容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子從表面氣化逸出,形成蒸氣流,入射到待鍍膜固體上,即襯底或基片表面,從而凝結形成固态薄膜的方法。
米開羅那手套箱蒸鍍一體機優點:蒸發鍍膜與手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響,保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
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