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光刻機是幹嘛的

科技 更新时间:2024-10-06 06:13:23

  1、光刻機又名掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到矽片上。光刻機的種類可分為:接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。

  2、光刻機的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段,将光束透射過畫着線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,将線路圖成比例縮小後映射到矽片上。然後使用化學方法顯影,得到刻在矽片上的電路圖。

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