從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 :
1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質。
2、然後高壓通過反滲透膜。
3、最後一般還要經過紫外殺菌以去除水中的微生物。
4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話,可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。
相對而言,蒸餾水隻是先氣化再冷凝,其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水,半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。
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