四氟化矽熔點負九十點二攝氏度,四氯化矽熔點負七十攝氏度。兩種物質都是非極性分子,和氫鍵沒有關系。但是四氯化矽體積大,範德華力中的色散力大。所以四氟化矽的熔點比四氯化矽低。四氯化矽主要是作為改良西門子法生産多晶矽的副産物得到,四氟化矽主要是作為磷肥工業的副産物氟矽酸分解得到,但足二者純度都不能滿足生産多晶矽的要求,需進行分離純化得到高純物質。
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