在高純水的生産過程中,水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除;水中的細菌,目前國内多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中,水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、阈值電壓,導緻低擊穿,産生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當高的純度和精度。
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