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關于矽片制作的過程

知識 更新时间:2025-02-23 04:53:28

  矽片制作分為七步驟。

  1、 矽棒粘接:用粘接劑對矽棒和碳闆進行粘接,以利于牢固的固定在切割機上和方位角的确定。

  2、 切片:主要利用内圓切割機或線切割機進行切割,以獲得達到其加工要求的厚度,X、Y方向角,曲翹度的薄矽片。

  3、 面方位測定:利用X射線光機對所加工出的矽片或線切割前要加工的矽棒測定其X、Y方位角,以保證所加工的矽片的X、Y方位角符合産品加工要求。

  4、 倒角前清洗:主要利用熱堿溶液和超聲波對已切成的矽片進行表面清洗,以去除矽片表面的粘接劑、有機物和矽粉等。

  5、 倒角:用不同的砥石形狀和粒度來加工出符合加工要求的倒角幅值、倒角角度等,以減少後續加工過程中可能産生的崩邊、晶格缺陷、處延生長和塗膠工藝中所造成的表面層的厚度不均勻分布。

  6、 厚度分類:為後續的磨片加工工藝提供厚度相對均勻的矽片分類,防止磨片中的厚度不均勻所造成的碎片等。

  7、 磨片:去除切片過程中所産生的切痕和表面損傷。

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