1、打開真空控制電源開關。
2、開維持泵對擴散泵抽低真空,并測量前級真空度。
3、待前級壓力達到5*100後,開擴散泵加熱。
4、開充氣閥,對鍍膜室充氣,打開鍍膜室門,裝好清洗幹淨的工件,關好爐門。
5、待擴散泵正常工作一小時後,開機械泵開預抽閥,對真空室手抽真空至1*103,然後開羅茨泵。
6、當壓力達到3*100後,關預抽閥,開前級閥。開高真閥,對鍍膜室抽高真空。
7、當真空室壓力達到8*10-3(具體壓力值根據工藝要求而定)後開工件旋轉,并開加熱至設定值。
8、開始鍍膜操作程序。
9、鍍膜操作程序結束。
10、降爐溫至100℃以下,打開充氣閥開爐門取出工件,每一爐使用之前對爐内進行清潔。
——文本由真空鍍膜設備廠家廣東振華科技發布。
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