1、矽的氫化物是指含有矽元素和氫元素兩種元素的化合物。矽的氫化物有矽烷、 乙矽烷等;
2、矽烷即矽與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲矽烷、乙矽烷和一些高級的矽氫化合物。目前應用最多的是甲矽烷。一般把甲矽烷簡稱做矽烷。矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,可用于制造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體;
3、乙矽烷是一種無機化合物,在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與矽烷類似的化學性質,但其反應性比矽烷更強。它比矽烷更不穩定,在室溫下會緩慢分解成矽烷和氫。
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