四氟化矽屬于一種鹵化物,不是鹽。
四氟化矽即SiF4,其無色、有毒、有刺激性臭味的氣體。密度為4、69克每升,熔點為負90.2攝氏度。四氟化矽在潮濕的空氣中因水解而産生煙霧,生成矽酸和氫氟酸。在冷凍下加壓可凝成液體。能溶于硝酸和乙醇。四氟化矽比較穩定。能跟氫氟酸作用生成氟矽酸即H2SiF6。四氟化矽也易被堿液分解。四氟化矽可由單質矽和氟反應制得。也可用濃硫酸處理石英砂和螢石的混合物或用氫氟酸處理二氧化矽來制備。
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