三氯氫矽是一種無機化合物,化學式為SiHCl3。
制備
經幹燥的矽粉在氯化沸騰爐中與幹燥氯化氫氣體在340°C下進行反應,生成的粗三氯氫矽經濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化矽,再經冷凝,得成品。利用矽鐵和HCl的反應也可以得到産物。
用途
用作有機矽化合物的原料,也是生産多晶矽的基本原料。
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