輝光放電是種低氣壓放電現象,工作壓力一般都低于10mbar,其基本構造是在封閉的容器内放置兩個平行的電極闆,利用産生的電子将中性原子或分子激發,而被激發的粒子由激發态降回基态時會以光的形式釋放出能量。
輝光放電是稀薄氣體中的自激導電現象。是由法拉第第一個發現。它包括亞正常輝光和反常輝光兩個過渡階段。輝光放電主要應用于氖穩壓管、氦氖激光器等器件的制造。用于污水處理、滅菌消毒、聚合物材料表面改性、分析儀器離子源等方面。
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