納米,是集成電路中的金屬線寬度。22納米以下的工藝還都處于實驗階段。制造工藝的微米是指IC内電路與電路之間的距離。制造工藝的趨勢是向密集度愈高的方向發展,密度愈高的IC電路設計,意味着在同樣大小面積的IC中,可以擁有密度更高、功能更複雜的電路設計。微電子技術的發展與進步,主要是靠工藝技術的不斷改進,使得器件的特征尺寸不斷縮小,從而集成度不斷提高,功耗降低,器件性能得到提高。
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