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8英寸mems芯片有什麼作用

生活 更新时间:2024-07-17 17:06:28

1.mems芯片是什麼意思

mems芯片是将微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術,它的操作範圍在微米範圍内,比它更小的,在納米範圍類似的技術被稱為納機電系統。

MEMS芯片可以把外界的物理、化學信号轉換成電信号,而ASIC是把MEMS芯片産生的電信号進一步處理和傳輸到下一級電路。

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2.mems芯片工藝制程

表面微加工中,采用低壓化學氣相澱積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結構單元的薄膜。表面微加工工藝采用若幹澱積層來制作結構,然後釋放部件,允許它們做橫向和縱向的運動,從而形成MEMS執行器。最常見的表面微機械結構材料是LPVCD澱積的多晶矽,多晶矽性能穩定且各向同性,通過仔細控制澱積工藝可以很好的控制薄膜應力。

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3.mems芯片和集成電路芯片區别

mems芯片:可以封裝更多的電路。這樣增加了每單位面積容量,可以降低成本回和增加功能,見摩爾定律,集成電路中的晶體管數量,每1.5年增加一倍。

集成電路:所有元件在結構上已組成一個整體,使電子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方答面邁進了一大步。

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