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光刻機是怎麼運輸的

知識 更新时间:2025-09-13 22:52:42

  1、氣墊運輸,光刻機運輸中需要保證全程加氣墊,避免因為震動而使内部遭到破壞。

  2、真空木箱打包,因為光刻機運輸要保持全程恒溫恒壓,所以要使用真空木箱打包技術。

  3、恒溫氣墊車運輸,光刻機運輸過程中,溫度要保持在26度,濕度要保持在40度,因此要用特種運輸車輛來運輸。

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