電子衍射與X射線衍射一樣,遵從衍射産生的必然條件(布拉格方程+反射定律,衍射矢量方程或厄瓦爾德圖解等)和系統消光規律。但電子波是物質波,按入射電子能量的大小,電子衍射可分為高能電子衍射、低能電子衍射和反射式高能電子衍射,而X射線衍射是X射線照射樣品。
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