我國能制造光刻機,當前中國肯定是有自己的能力生産光刻機的,隻是技術确實跟人家有一定的差别。
光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻。一般的光刻工藝要經曆矽片表面清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。
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